ASML의 EUV 생산량은 2019년 22개에서 2021년 42개로 증가

The Elec에 따르면 ASML은 최근 2022 반도체 EUV 생태계 글로벌 컨퍼런스에서 ASML이 생산하는 EUV 장치 수가 2019년 22개에서 2021년 42개로 늘어났으며 올해는 50개를 넘어설 것으로 예상된다고 발표했습니다. 내년에는 생산량이 더 늘어날 예정이다. High-NA EUV 장치의 초기 버전은 내년 말까지 출시될 예정이며, 생산 모델은 2024년 말 또는 2025년 초에 출시될 예정입니다.

ASML은 10월 19일 3분기 실적 발표에서 "EUV High-NA 사업에서 ASML은 TWINSCAN EXE:5200에 대한 추가 주문을 받았습니다. 이제 모든 EUV 고객이 제출했습니다. 높은 NA 주문." High-NA EUV 장비는 집광 능력이 있는 렌즈의 개구수(NA)를 0.33에서 0.55로 높이는 장비다. 기존 EUV 장치보다 더 정교한 반도체 회로를 처리합니다. 업계 대부분은 2nm 공정에 High-NA 장비가 필수적이라는 데 동의합니다.